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SPTS Osprey? PECVD
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Advanced Packaging??? ?? SPTS Osprey? PECVD ???? 300mm ?? ?? ? ??? ???? ?? ?? ??? ?????. Osprey PECVD? 125¡ãC SiN ¨C SiO ??? ??? PECVD ??? ??? ? ???, ?? ??? ?? ?? ???? ?? ??? ???? ?? ??? ??? ?????. ?? ? ?? ??? ???? ???? ??? ? ??? ???? ?? ????? ???? PECVD ???? ?? ??? ? ?? ??? ?? ?? ??? ? ????. ??? ?? ?? ??? ? ?? ??? ??? ??? ???? ?? ??? ????? ???? ?? ? ?? ??? ???? ? ????. ???? SiO, TEOS SiO, SiCN ? ?? advanced dielectric films? hybrid bonding and inter-die gap-fill ?? ??? ??? ? ????.
- SiCN for hybrid bonding
- Thick SiO for inter-die gapfill
- via reveal passivation
- Low temperature back side films with bow compensation
- Via-last TSV liner
SPTS Sigma? PVD
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Std PVD
- FO-WLP & Si UBM/RDL ?? ??
- Al ?? ?? ???
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- ?? AlN/AlScN & ??
Hi-Fill
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Advanced Hi-Fill
- TSV ?? ???/??
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Inspira
- UBM/RDL ?? ??
- ?? ??? ?? ??
SPTS Delta? PECVD
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- GaN? ?? ???, ??? ??? ?? ??? ?? SiN passivation
- Bow ??? ?? ? ?? ??, ?? ?? back side films
- MIM ???? ? GaAs ?? ??????? ?? ?? ??? SiN
- ?? ? ?? ????? ?? ??? RI ? ?? ??
- Bonding layer dielectrics
- Inter-layer dielectrics
MVD100E
R&D? ?? ?? ??(MVD?) ???
MVD100E ?? ?? ?? ???? R&D ?? ?? ??? ?? 51ÁÔÆæ? ??? ?????. MVD ??? ??? ?? ?? ??? ?? ? ?? ??? ?? ????? ??? ?? ? ?? ??? ??? ? ?? ????. MVD?? ??? ?? ???, ?? ?? ?? ???? ??? ?? ???? ?? ? ?? ???? ????. MVD100E ???? ??? ??? ??? ? ???? ???? ???? ?? ???? ?? ???? ??? ? ????. ??? ?? ?????? MVD100E ???? ?? ???? ??? ? ?? ???? ??? ??????.
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- 200mm ???
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- MVD ? ALD ??
MVD300/300E
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MVD300? ?? ?? ?? ???(? ?? ???? ?? EFEM? ??? MVD300E ???)? ?? ???? ?? ?? ?? ??? ?? ??? ??? ??? ? ???? ????? ???????. MVD ??? ??? ?? ?? ??? ?? ? ?? ??? ?? ????? ??? ?? ? ?? ??? ??? ? ?? ????. MVD? MEMS ??? ?? ?? ? ?? ?? ??? ???? ? ?? ? ?? ?? ??? ??? ? ????.
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- 200mm ???(?? ?? ?? EFEM ?? ??)
- 300mm ???(EFEM ???)
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MVD4500
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- 4.5?? ?? ?? - ??, ??? ??, ??
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