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1984: 51猎奇 2020

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1990??: 21xx ???

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2000??: 23xx ? 28xx ???

23xx ???? ??? ???(UV) ?? ??? ???? ? ????? ?? ??? ?? ?? ?? ??, ?? ??? 100nm? ?? ? 10? ??? 300mm ????? ??? ??? ?? ?? ??? ??? ? ??? ?????.

2005?? ??? 2800 ???? ????(DUV) ??? ???? DUV/UV/??? ??? ???? ???? 193nm ?? ???? ???? ? ?? ?? ??? ??? ?? ??? ?????.

283x ???? ??? ??? ?? ???? ??? ??????. ? ??????? ??? ??? ???? ?? BBP? ?? ??? ?? ???? ??? ???? ??? ?????.

2010??: 29xx ? 39xx ???

290x?? 296x? ????? 29xx ??? ???? 2010?? ??? ??? ?? ??? ?????. ??/UV/DUV ?? ??? ???? 29xx ??? ???? ?? ?? ?? ?? ? ???? ???? ??? ???? ?? ?? ?? ??? ??? ??? ?????. ?? ?? ???? 2965??, ?? ??/???? ? ????? AI ??????? ?? GPU? ?? ??? ?? ????? ?????. 2965? ?? GAA ????? ????? ?? ??? ?? ??? ???? ??? ??? ? ?? ??? ?? ??? ??? ????. ?? ?? ????? ?? ?? ??? ??? BBP ????? ???? ?? ?? ??? ???? ??? ??? ???? ?? GAA ???? ?? ? ??? ?? ?????.

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2025? ? ? ??: ??? BBP

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